國立臺灣大學 材料科學與工程學系暨研究所

• 型號: NOVA NANO SEM 450
• 購入年份: 2011-10-26
• 預約網址: http://140.112.32.205/NTU_MSE/waInstrument/waFront/index.aspx

負責老師：

高振宏

技術員：

陳學人

連絡電話：

02-33661348

所在位置：

工綜130

特性：

1. FEG-SEM:電壓50eV~30keV，電流0.6pA~200nA。
2. 60 degree objective lens geometry.
3. Detectors:

a. in-lens SE detector(TLD-SE)
b. in-lens BSE detector(TLD-BSE)
c. Everhardt-Thomley SED

   4. EDS:元素分析儀

操作規定：

除可與助教預約外，若取得NOVA使用執照者可以自行操作
(取得方式:擁有6510 SEM使用執照者並擁有兩次操作NOVA經驗者，皆可報考NOVA執照考試)