1.電子槍:場發射式電子槍

2.加速電壓:60kV~300kV

3.傾斜角度：正負25度。

4.X-FEG GUN：超高亮度和穩定度肖特基FEG場發射電子鎗

5.TEM resolution：300kV之TEM影像使用單光束能譜過濾器( Monochromator )
                           輔佐影像球差修正器( Cc Image )解析度為0.06 nm。

6.STEM resolution ：300kV STEM影像輔佐球差修正器( Cs Probe )解析度為0.05 nm。

7.Monochromator：單光束能譜過濾器，可獲得高分辨率的能譜至0.2 eV。

8.Super-X EDS 系統：配置4個內嵌式環形EDS檢測器，快速收集模式下，點的駐留時間可以短至2 μs。

1.TEM：

可進行微結構觀察、明視野、暗視野影像分析、電子繞射等分析。高解析TEM影像，300kV之TEM影像使用單光束能譜過濾器( Monochromator )輔佐影像球差修正器( Cc Image )解析度為0.06 nm

2.STEM：

高解析掃描穿透明、暗視野 (HR STEM BF and DF)影像。300kV STEM影像輔佐球差修正器( Cs Probe )解析度為0.05 nm。

3.EDS元素分析：

不同維度之EDS定性及半定量成分分析。EDS搭配STEM的BF, LAADF, HAADF偵測器同步獲取影像和光譜訊號可進行full frame、 選區和線掃描等掃描分析模式。

1.請到國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約。

2.每月25日12:00開始開放下個月的預約時段，當月有空檔可隨時預約。 

3.本儀器在系統中編號為台大貴儀--EM013400，尖端服務--EM013400A。

4.本儀器一般操作加速電壓為300kV，僅每月第一個完整周降至120kV服務對電子束敏感樣品，請預約者留意，若不確定請先來電詢問。

1.取消預約：

   請在三天前（不含實驗當日），自行上網取消，當日預約時段未到且沒有事先以電話或郵件通知者，扣款原預約時段三小時費用。

2.服務方式：

   由儀器助教全程操作，預約者需在場說明所需分析之內容。

3.為使儀器提供給必要研究者使用，避免儀器資源的浪費，本儀器措施如下：

   只需普通簡單分析之樣品，建議至其他電子顯微鏡使用，以充分發揮本儀器之功能。

   試片上機前，至少須有傳統電鏡之明視野照片一張，說明必需觀察的組織位置。

4.檢驗樣品的限制

   1.使用者需事先 e-mail 試片詳細資訊於儀器管理者，詳述試片之製作方式、材料與溶劑種類或熔點等資訊，若有可能造成真空腔的污染，有權拒絕受理。
   2.易產生相變及蒸鍍效應之低熔點的材料，如:銦、錫等恕不受理。
   3.為減少儀器不必要的污染，若有可能造成真空腔體的污染恕不受理。
   4.在電子束照射下會分解或釋出氣體之樣品恕不受理。
   5.未經正確處理或充分乾燥的粉末樣品恕不受理。
   6.未有適當、足夠的機械強度之測試樣品恕不受理。
   7.導電性不佳或高真空環境下附著情形不良之試片恕不受理。
   8.具強磁性、磁性或易被電磁透鏡吸引的粉末型式樣品或材料恕不受理。
   9.未經去磁處理之硬磁性薄膜試片恕不受理。（若已去磁需提出測試報告，證明無污染之虞） 本儀器恕不接受加熱型測試服務。

若未確實遵守以上限制，或未事前向儀器管理人員提出樣品處理討論，經發現或造成真空不佳或系統污染，管理人有權立即將試片退出，嚴重者需負維修賠償之責任。

基礎服務

尖端服務

負責教授：顏鴻威 教授 02-33661327 E-Mail: homeryen@ntu.edu.tw

技術員：邱柏翰 博士 02-33665928 E-Mail: pohanchiu@ntu.edu.tw 

儀器放置地點：台灣大學工學院綜合大樓140室

1.自行操作訓練資格

(1) 須於1年內獲取台大材料系F20 (FEI Tecnai G2 F20)使用執照；若取得執照超過1年以上，則提出半年內使用次數達10次以上之證明文件。

(2) 可提出具備相關證明具有操作台大材料系F20同等級之TEM/STEM之能力，以及半年內使用次數達10次以上之證明文件。

2.申請自行操作資格

須於半年預約服務且登記教育訓練4次以上，且預約助教時段2次以上且技術員時段2次以上，方可向技術員申請自行操作資格考試，於1.5小時內完成指定拍攝項目方可取得自行操作資格。