電子顯微鏡系統

1.電子源:場發射電子槍

2.加速電壓:0.5~30kV

3.二次電子影像解析度: 3nm（25kV,10pA）

4.歐傑分析探針直徑: 8奈米（25kV，1nA）

5.探針電流:10-11~2X10-7 A

6.倍率: x 25 to 500,000

歐傑分析系統

1.分析器:靜電半球分析儀(Electrostatic hemispherical analyzer，HSA)

2.能量解析度（ΔE/E）: 0.05~0.6%

3.靈敏度: 840,000 cps/7 ch or more(at 10 kV 10 nA Cu-LMN, 0.6% resolution, 60tilt)

1.材料表面顯微組織觀察(SEI、BEI)

2.材料表面歐傑電子能譜定性及定量分析。

3.材料表面歐傑電子能譜成份分佈觀察(面掃瞄及線掃瞄)。

4.利用氬離子束系統，可進行材料縱深能譜分析(薄膜厚度量測)。

5.化態分析

1.請到臺大材料系預約系統中預約

2.每月25日10:00開始開放下個月的預約時段，當月有空檔可隨時預約。 

3.底色為橘色時段代表有專人陪同，其他時段需自行操作。

4.取消預約需在二天前自行上網取消，否則除非特殊狀況(如天災)，費用照計。

   1.Tilt 0度時,不可移動Z軸.

   2.汙染樣品禁止進入機台

1.材料系內自行操作:500元/小時

2.材料系內陪同操作:950元/小時

3.工學院內陪同操作:1000元/小時

4.校內其他學院陪同操作:1000元/小時

5.校外研究單位陪同操作:1500元/小時

6.廠商陪同操作:3000元/小時

技術員：高崇源 先生 02-33665241 E-Mail:kcyuan@ntu.edu.tw 

儀器放置地點：台灣大學工學院綜合大樓B36-1室

壹、通過本儀器自行操作資格:能夠掌控一切事務，可於任何時間自行操作，唯夜間及假日必須事先向技術員提出申請，經指導教授同意後方可使用儀器。

貳、參加鑑定資格為須接受陪同操作滿6小時。（以計費登記簿為準）。

參、鑑定時間由受鑑者提出，再由技術員(或儀器助教)安排。

肆、70分(含)以下不及格，不通過者須重新接受上機操作訓練6小時，才可再考。