教授
專任師資
電子材料組
姓名：陳敏璋
職稱：教授
辦公室：二號館338
研究室：奈米電子光電材料實驗室(二號館301) 02-33665300
電話：02-33665301
E-mail：mjchen@ntu.edu.tw
教師經歷
- 學歷
- 研究摘要
- 研究主題
- 主要經歷
1995/09-2001/06 國立台灣大學光電工程研究所博士
1991/09-1995/06 國立台灣大學電機工程學系學士
近年來材料與元件之發展已進入原子尺度的範圍，原子層沉積(Atomic Layer Deposition，ALD)技術可精確控制單一原子層厚度之薄膜，為現今最先進之奈米材料製備技術之一。ALD技術具有許多獨特的優點，例如:原子級精密厚度與材料成份之控制、極高的表面覆蓋能力、極高的均勻度、低缺陷密度、良好的界面品質、製程穩定度與重複度高、以及材料沉積溫度較低等等。本實驗室專注於ALD技術及其廣泛的應用，研究開發奈米電子、奈米表面電漿子、以及奈米光電之材料與元件， 並探討在原子尺度的材料和元件之特性與物理。
2001/07-2004/07 中央研究院 應用科學研究中心 博士後研究